VAKUOVÉ VENTILY – TĚSNÉ VAKUOVÉ VENTILY PRO ŘÍZENÍ PODTLAKOVÝCH SYSTÉMŮ
 
Vakuové ventily jsou speciální armatury určené k uzavírání, otevírání nebo regulaci proudění plynů ve vakuových systémech. Na rozdíl od běžných tlakových armatur musí spolehlivě pracovat při velmi nízkých absolutních tlacích a současně minimalizovat průnik okolního vzduchu do systému. Používají se ve vakuové technice, polovodičovém průmyslu, výzkumných zařízeních, povlakovacích technologiích, vakuových pecích i dalších průmyslových aplikacích.
 
Podle konstrukce se používají například vakuové rohové, přímé, šoupátkové, klapkové, membránové nebo jehlové ventily. Jednotlivá provedení se liší průtočným průřezem, rychlostí ovládání, těsností a vhodností pro konkrétní úroveň vakua. Velké šoupátkové ventily se uplatňují například tam, kde je požadována vysoká vodivost vakuového vedení a minimální omezení průtoku.
 
Zásadním parametrem vakuových ventilů je jejich těsnost. I velmi malý průnik plynu může u citlivých procesů ovlivnit dosažitelný tlak nebo čistotu vakuového prostředí. Pro náročné aplikace se proto používají konstrukce s velmi nízkou mírou netěsnosti, která může být ověřována například heliovou detekcí úniku.
 
Podle požadovaného pracovního rozsahu se ventily navrhují pro hrubé, jemné, vysoké nebo ultravysoké vakuum. V systémech UHV jsou kladeny mimořádné požadavky na materiály, těsnění a čistotu vnitřních povrchů. Používají se například celokovová těsnění a materiály s nízkým odplyňováním, které omezují uvolňování molekul do vakuového prostoru.
 
Vakuové ventily mohou být ovládány ručně, pneumaticky, elektromagneticky nebo elektrickým pohonem. Automatizované provedení lze propojit s vakuoměry, vývěvami a řídicím systémem zařízení. Ventil tak může automaticky izolovat vakuovou komoru, řídit napouštění plynu nebo chránit technologii při změně provozních podmínek.
 
Při výběru vakuového ventilu je nutné zohlednit pracovní rozsah absolutního tlaku, požadovanou těsnost, vodivost, materiálové provedení, typ procesního plynu a způsob připojení. Správně zvolený vakuový ventil umožňuje přesně řídit podtlakový systém a současně minimalizovat netěsnosti, kontaminaci a nežádoucí tlakové změny.